中國科學院院士、北京石墨烯研究院院長劉忠范說,懸浮石墨烯傳感器技術應用無論在學術界還在產(chǎn)業(yè)界均屬首例。雙方合作有望帶來開啟全球石墨烯產(chǎn)業(yè)化應用面向全新時代的標志性產(chǎn)品。
懸浮石墨烯傳感芯片。圖片來源:東旭光電提供
石墨烯高端應用在全球呈快速發(fā)展趨勢。美國、歐盟、日本等80多個國家皆將石墨烯材料發(fā)展提高到戰(zhàn)略高度,歐洲石墨烯旗艦計劃、韓國國家石墨烯計劃、新加坡國家石墨烯研究院等相繼實施和落地。我國作為全球石墨烯產(chǎn)業(yè)化發(fā)展最活躍的地區(qū),已在涂料、采暖器和電熱膜等工業(yè)領域實現(xiàn)了石墨烯應用零的突破。
CVD(化學氣相沉積)法生產(chǎn)石墨烯是將碳原子沉積在特定基體上的一種生產(chǎn)單層石墨烯方法,但其具有轉移步驟成本高,導電率低的缺點。硅晶圓懸浮石墨烯技術是通過傳統(tǒng)半導體工藝,形成上表面為單層石墨烯薄膜的懸浮腔體陣列,最終形成硅晶圓表面的懸浮石墨烯陣列。
馮蔚東說,懸浮石墨烯傳感芯片技術為CVD石墨烯薄膜“分布”創(chuàng)造了獨特的解決辦法,使石墨烯能更好發(fā)揮其電學和力學性能。懸浮石墨烯傳感芯片技術在力學、溫度、濕度檢測以及傳感等領域將有廣闊的應用前景。
近年來,石墨烯產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品布局已悄然變化。在2019年WMC世界移動通信大會上,石墨烯5G調(diào)制器、石墨烯寬帶成像設備等系列高端石墨烯應用悉數(shù)亮相,這些應用也意味著石墨烯從“工業(yè)味精”到“工業(yè)主角”、從輔材到主材的轉變,逐步成為不可替代的“超級材料”。
諾貝爾物理學獎得主、英國曼徹斯特大學教授康斯坦丁·諾沃肖洛夫說:“石墨烯在光電領域的應用是最令人興奮的事情之一,曼大與東旭光電的合作模式令人振奮,這將催生大量潛在應用場景。”