7月23日，青海省2020年科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)結(jié)果公布，由黃河公司新能源分公司主導(dǎo)研發(fā)的“電子級(jí)多晶硅成套制備技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”榮獲青海省科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)。
電子級(jí)多晶硅是集成電路和分立器件的最基礎(chǔ)原材料，更是信息產(chǎn)業(yè)、集成電路產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展的命脈。但其制備技術(shù)卻長(zhǎng)期被美、德、日等發(fā)達(dá)國(guó)家封鎖，若只能依賴進(jìn)口，猶如被人扼住了喉嚨。
“只有突破電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)核心技術(shù)，徹底打破國(guó)外多晶硅企業(yè)壟斷市場(chǎng)，才能使我國(guó)擺脫集成電路關(guān)鍵基礎(chǔ)材料長(zhǎng)期進(jìn)口受制于國(guó)外的局面。”該項(xiàng)目的第一完成人——黃河公司黨委書記、董事長(zhǎng)謝小平深知實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)材料取代進(jìn)口材料的重要性。
為實(shí)現(xiàn)集成電路硅材料國(guó)產(chǎn)化，完成進(jìn)口替代，新能源分公司自2009年起就圍繞微電子單晶用多晶硅產(chǎn)品制備和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用展開研究。十年磨一劍，在與浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江金瑞泓科技股份有限公司的共同研究合作下，目前已形成副產(chǎn)物四氯化硅高效循環(huán)利用技術(shù)、三氯氫硅氣體分離提純技術(shù)、高純多晶硅制備和質(zhì)量控制技術(shù)等一系列核心自主技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了微電子單晶用多晶硅產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)。
該項(xiàng)目目前擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，累計(jì)申請(qǐng)專利24項(xiàng)，其中獲得發(fā)明專利授權(quán)5項(xiàng)，受理發(fā)明專利6項(xiàng)，參與編制國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)7部、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4部。
依托項(xiàng)目研究，新能源分公司已經(jīng)具備電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)裝置工程化能力，并且成為國(guó)內(nèi)唯一一家量產(chǎn)并批量銷售電子級(jí)多晶硅的企業(yè)。生產(chǎn)的“黃河水電多晶硅”經(jīng)過(guò)ChemTrace、EAG、SGS等國(guó)內(nèi)外20多家權(quán)威機(jī)構(gòu)檢測(cè)和上百次下游企業(yè)的評(píng)估、試用，質(zhì)量指標(biāo)已與國(guó)外龍頭企業(yè)相當(dāng)，完全滿足分立器件研磨片、3-6英寸拋光片、8英寸、12英寸外延片和拋光片的制造要求，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，產(chǎn)品市場(chǎng)占有率逐年攀升，目前國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率達(dá)20%。
“經(jīng)過(guò)多年深耕，新能源分公司已經(jīng)成功突破電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了在集成電路產(chǎn)業(yè)的大規(guī)模應(yīng)用，徹底打破了國(guó)外市場(chǎng)壟斷，保障了我國(guó)集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全，加快了我國(guó)6-8英寸、8-12英寸硅片和集成電路用高純硅材料產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。”黃河公司黨委委員、副總經(jīng)理劉剛介紹道，特別是中美貿(mào)易紛爭(zhēng)激烈的背景下，新能源分公司推進(jìn)了集成電路硅材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，完成了進(jìn)口替代，填補(bǔ)了電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)和市場(chǎng)的空白。
“集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展關(guān)乎企業(yè)、關(guān)乎青海、更關(guān)乎國(guó)家。我們將繼續(xù)潛心鉆研，攻克難點(diǎn)，打造國(guó)家集成電路材料一流企業(yè)，擘畫高質(zhì)量發(fā)展藍(lán)圖，全力推動(dòng)國(guó)家基礎(chǔ)材料戰(zhàn)略安全。未來(lái)可期!”對(duì)于未來(lái)發(fā)展，新能源分公司總經(jīng)理秦榕信心滿滿。作者：訾麗周國(guó)峰
