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新技術(shù)將使重要金屬制成薄膜的生產(chǎn)效率更高

2021-09-05 19:05  來源:科技部合作司  瀏覽:  

美國明尼蘇達大學(xué)雙城科學(xué)與工程學(xué)院的研究人員發(fā)明了一種更便宜、更安全、更簡單的技術(shù),可以將一組“頑固”的金屬(包括鉑、銥、釕和鎢等元素)和金屬氧化物制成薄膜,用于許多電子產(chǎn)品、計算機組件和其他應(yīng)用程序。該研究發(fā)表在美國國家科學(xué)院院刊 (PNAS) 上。

通常,科學(xué)家使用濺射和電子束蒸發(fā)等技術(shù)合成這些金屬薄膜。后者包括在高溫下熔化和蒸發(fā)金屬,并允許在晶片頂部形成薄膜。但這種傳統(tǒng)方法非常昂貴,耗能大,且由于使用的電壓高,也可能不安全?,F(xiàn)在,明尼蘇達大學(xué)的研究人員已經(jīng)開發(fā)出一種方法,可以在更低的溫度下蒸發(fā)這些金屬,溫度低于200℃。通過設(shè)計有機配體(碳、氫和氧原子的組合)并將其添加到金屬中,研究人員能夠顯著提高材料的蒸氣壓,使其更容易在較低溫度下蒸發(fā)。他們的新技術(shù)不僅更簡單,而且還制造了易于擴展的更高質(zhì)量的材料。
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